Mikrouhin-labearen indarra
-
Mikrouhin-labearen hornidura
Mikrouhin-aldatze-hornidura IGBT maiztasun handiko inbertsore teknologian oinarritutako mikrouhin-hornidura mota berri bat da. Anodo tentsio handiko elikadura hornidura, harizpi hornidura eta eremu magnetiko elikadura hornidura integratzen ditu (3kW mikrouhin-hornidura izan ezik). Uhin magnetroiak lan baldintzak eskaintzen ditu. Produktu hau MPCVD, mikrouhin-plasma grabatu, mikrouhin-plasma degumming eta beste eremu batzuetan erabiltzen da.