MSB serieko maiztasun ertaineko sputtering elikadura-hornidura

Deskribapen laburra:

RHH serieko RF hornidura RF sorkuntzako teknologia helduan oinarritzen da bezeroei RF hornidura potentzia handiagoa, doitasun handiagoa eta erantzun azkarra emateko.Fasearekin, pultsu kontrolagarria, sintonizazio digitala eta beste funtzio batzuk ezarri daitezke.Eremu aplikagarriak: industria fotovoltaikoa, panel lauko pantailaren industria, erdieroaleen industria, industria kimikoa, laborategia, ikerketa zientifikoa, fabrikazioa, etab.

Prozesu aplikagarriak: plasma hobetutako lurrun-deposizio kimikoa (PECVD), plasma grabaketa, plasma garbiketa, irrati-maiztasun ioien iturria, plasma difusioa, plasma polimerizazio sputtering, sputtering erreaktiboa, etab.

Produktuaren xehetasuna

Produktuen etiketak

Bidali mezu elektronikoa

Ezaugarriak

● Erdi-adreilu eta rack muntatzeko estiloak

● Hartu kontrol digital osoa, funtzionamendu menu eroso eta aberatsarekin

● Maiztasunaren sintonizazioa, pultsuak eta pultsuak sinkronizatzeko funtzioak

● CEX fasea sinkronizatzeko funtzioarekin

● Babes funtzio ezin hobea

Produktuaren xehetasuna

Sarrera	Sarrerako tentsioa: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (zehaztapen bereziak pertsonalizatu daitezke)
Sarrera	Sarrerako maiztasuna: 47~63Hz
Irteera	Irteera maiztasuna: 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
	Sintonizazioa: ±% 5
	Irteera potentzia: 1,5 ~ 5 kW
	Irteerako potentzia erregulatzeko tartea: % 1 ~ 100
	Irteerako inpedantzia: 50Ω+j0
	Irteerako interfazea: N mota
	Irteera modua: jarraitua, pultsua
	Pultsu maiztasuna: 100Hz~100kHz
	Lan-zikloa: % 5 ~ 95
Errendimendu-indizea	Potentzia-faktorea: 0,98
	Maiztasunaren egonkortasunaren zehaztasuna: ± 0,005%
	Eraginkortasuna: % 75 (irteera nominalean)
	Harmonikoa: <-45dBc
	Iraupena: ＜-50dBc
	Kanpoko kontrol interfazea: kantitate analogikoa, komunikazioa eta sinkronizazioa
	Komunikazio modua: RS485 komunikazio interfaze estandarra;Aukerako Ether CAT, Ethernet industriala, etab.
Oharra: produktuak berritzen jarraitzen du eta errendimendua hobetzen jarraitzen du.Parametroaren deskribapena erreferentziarako soilik da.