TPM5 Serieko Potentzia Kontrolagailua
-
TPM5 Serieko Potentzia Kontrolagailua
TPM5 serieko potentzia-kontrolagailuak modulu-diseinuaren ideia hartzen du eta 6 zirkuitu integratzen ditu barruan. Produktuak batez ere difusio-labeetan, PECVD-etan, epitaxia-labeetan eta abarretan erabiltzen dira.