TPM5 serieko potentzia kontrolagailua
-
TPM5 serieko potentzia kontrolagailua
TPM5 serieko potentzia kontrolagailuak moduluaren diseinuaren ideia hartzen du eta barruan 6 zirkuitu barneratzen ditu.Produktuak difusio-labeetan, PECVD-etan, epitaxi-labeetan eta abarretan erabiltzen dira batez ere.